光学微电子行业净化工程设计方案分析：对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+ffu。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。

净化技术的设备发展

　　对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的---是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。这种效应──凯尔文浓缩──当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种---已成为衡量一个和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

无尘室温湿度控制方法：

1、无尘室温湿度维护管理。

无尘室适当之正压保持（>;0.5mmaq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不---、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。