无尘车间气流循环模式
无尘车间气流由风送入静压箱,通过高1效过滤器进入无尘车间,再从回风初效过滤器进入回风夹道,部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室,另一部分回风气流直接进入空调的进风口,空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。两部分流在风机室室混合后,通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱,万级无尘室,再经高1效过滤器进入无尘车间构成气流循环系统。从气流的循环情况可知,无尘室施工,实际上己形成了---的三级过滤状态。因此,无尘室工程,无尘车间的空气得到了---的---。在此基础上调整高1效过滤器送风口的结构和布局,配以相应的风量,就可确定无尘车间的洁净形式和洁净度,以适应不同的需要。
高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行,同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行,漯河无尘室,新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。
<洁净室施工及验收规范>(下简称规范)第 3.4.4条,有“经检查和检漏合格的应立即安装”,指现场检漏合格以后,再安装高1效过滤器,事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到,而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。
检漏时,从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶,并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏,以检漏高1效过滤器的过滤介质,密封胶过滤器框架,密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏,只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须:
(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;
(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目---般超净间,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
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