洁净室净化工程-沭阳洁净室- 清阳净化系统工程

净化技术的设备发展

　　在洁净室建设规模和技术水平上，我国与---差距。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71.8万平方米，洁净室净化工程，而我国目---年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模，1998年统计已达188.5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0.1微米级的超净室，洁净室工程，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，沭阳洁净室，nit原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房，换气次数---300次/分。

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的tsmcs新厂已建成---管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价---1万美元以上。在---集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，---制约了---集成电路技术的发展。