净化工程公司-净化-清阳净化系统工程

光学微电子净化工程解决方案:

　　4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

　　a、无尘车间

　　洁净度:lcd制屏的简略流程为：清洗***印刷取向膜***磨擦***密封印刷层散布隔垫物***组合***划线和切割***lc注入***贴偏振片***制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。

　　净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(clean

tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　a.弹性扩充容易;

　　b.维修设备时可在维修区轻易执行。