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千级无尘车间管理规范 ▼标签： 千级无尘车间 工程 净化工程 空气净化 

1. 净化工程1.目的为无尘室清洁建立规范从而---产品的。

2 范围 适用于千级无尘室生产车间及进出人员、物料。

3 定义     无

4 职责 生产部：负责无尘室清洁的执行。 品质部：负责对无尘室的洁净度进行检验。 5 内容与要求

5.1 风淋室清洁：

5.1.1 每天上午和下午下班时对风淋室进行清洁，擦拭灰尘和换除尘垫。

5.1.2 进入车间时风淋时间为20秒。

5.2 无尘室清洁：

5.2.1 每天上午和下午下进时进行清洁，用吸尘器进行吸尘。

5.2.2 每三天进行一次大清洁，用湿海棉擦地面。

5.2.3 每天上午和下午上班后30分钟内生产主管进行温湿度检验并记录。

5.2.4 温度要求25±3℃；湿度要求≤65%。如达不到则进行空调调节直到合格才能生产。

5.3 洁净度检验:

5.3.1 品质部每天上午9:00前，下午14:00前用尘埃粒子测试仪进行检验并记录结果.

5.3.2如检验达不到千级要求则生产部停止生产进行清洁，净化，直到检验ok方可生产.

5.4 人员进出:

5.4.1 人员进入前按<千级无尘室着装规范>着装.

5.4.2 ---员从风淋室进，出口出，不得---进出.

5.4.3 紧急出口只能在发生紧急情况下或运送机器时才能使用.

5.5 物料进出:

5.5.1 所有材料必须从风淋窗口进入.

5.5.2 任何容易带有或产生灰尘、纸屑的物料不得进入和使用。

6 记录及相关文件

6.1<温湿度记录表>

6.2<尘埃粒子检验记录表>

6.3<千级无尘室着装规定>

净化技术的设备发展

　　对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种---已成为衡量一个和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。