百级无尘室-无尘室-清阳净化系统工程

光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案

　　光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，无尘室，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，万级无尘室，而所给于---设计之密闭空间。

　　光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，百级无尘室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如---型积体电路之研究制造，已成为在科技发展上---重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先---。

　　净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(clean

tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　a.弹性扩充容易;

　　b.维修设备时可在维修区轻易执行。