目前已推出的化学过滤器主要是:
a.活性炭过滤器,无尘室工程,大多数是晶粒状的,有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器,具有吸附速度快的特点,价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝,但主要是活性炭)以吸附amc物质。
至今,万级无尘室,据---,φ300mm园片加工除二条试验生产线外,已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转,对amc的控制情况,无尘室,当然不详,但洁净室环境为iso5~6级,对洁净室设计较简单些。可以看到,今后ic生产,其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
无尘室的用途分类
⑴、工业无尘室无尘室工程
——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)lcd(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
⑵、生物无尘室
主要控制有生命微粒(细1菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为; a、 一般生物无尘室,主要控制微生物(细1菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般---正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
b、 生物学安全无尘室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与---的负压。例:细1菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫1苗制备)
无尘室工程概述
无尘室工程(clean room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 fed-std-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,百级无尘室,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计之房间。
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