目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附amc物质。
至今，据---，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对amc的控制情况，当然不详，但洁净室环境为iso5～6级，对洁净室设计较简单些。可以看到，无尘室，今后ic生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
无尘室工程洁净度气流分布
无尘室工程按等级划分洁净室被分为10到10万级，然而针对于洁净室级别来说，千级无尘室，和其他的数字理解方式是不一样的。其他的数字越大，级别越高；洁净室行业是数字越小级别越高。洁净室是由：空调暖通系统、内部装修系统、配电系统所组成。洁净室是由初效（g）——中效（f）——高1效（h）三级过滤后输入气流于洁净室内，然后由回风口到管道内，然后进行净化这样一直循环的原理。
无尘室工程要想达到稳定性，室内的气流必须保持一致，若如气流无法保持一致，在风速有异的情况下，洁净室内就会产生乱流，无法控制洁净室的稳定性。这样就会对无尘室施工内净化级别有影响。导致洁净室内气流不一致的原因可能是：
1、人在洁净室内的活动；
2、ffu或高1效出风口出风速度不一致。
在洁净室内配套设施尽量用不锈钢材质的，不锈钢材质不易起尘、具有强耐腐蚀性。
无尘室工程净化车间洁净度
净化车间洁净度是指洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的允许统计数，尘粒是病源微生物赖以生存和传播的媒介，尘粒的数量，大小和气流特性对菌落的检出数量有重要的影响，手术室存在不同程度的微生物污染和尘粒污染，百级无尘室，洁净手术室的等等级标准评价以0.5和5um尘粒数和菌落数为主，通过统计学相关分析，沉降菌菌数和尘粒数具有相关性，
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