万级洁净室-洁净室-清阳净化系统工程

　　净化技术的设备发展

　　净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质，有效地控制微量杂质，洁净室，以------产品的成品率和---性。洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等---工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。

　　净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(clean

tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　a.弹性扩充容易;

　　b.维修设备时可在维修区轻易执行。