洁净工程公司-净化-清阳净化系统工程公司

9.5有不能关闭的开口相通（如传送带口）的相邻两室的静压差由洞口风速代替，洞口应有不小于0.2m/s的风速，从静压高的房间流向静压低的房间。

 ?检查方法查看报告或抽测。

?结果处理如洞口风速不足，可考虑适当缩小开口。至少应---空气流向符合要求。

*9.6洁净度级别不仅要符合设计值，而且应严格符合---按生产工艺和产品要求划分的级别。

?检查方法核对工艺和图纸。

?结果处理不符合又不能调整者不合格。

?检查方法检查检漏报告和日常维护记录。

?结果处理当无特殊要求时，实验室净化工程，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，宜采用将纳入<洁净室施工及验收规范>的粒子计数器---尘检漏法。 ?参考 ---尘检漏法可用2.83l/min粒子计数器，洁净工程公司，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，需要高1效过滤器上游浓度***5000粒/l，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，采样口离检漏表面25mm，扫描速度≤2cm/s。

?参考 扫描过程中当出现***1粒计数时，即出现漏泄特征，应在该处停留1min，若再出现***3粒的计数，即判断为漏，否则为不漏。

?参考 iso14644---粒子计数器法比dop光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的dop的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。