光学微电子净化工程解决方案:
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
b、室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,无尘室,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;---室内每人每小时的新鲜
空气量***40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是***25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是***15次/h)。
净化工程乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa)
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