无尘室-清阳净化系统工程公司-无尘室设备

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    2023-8-14

蔡总
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光学微电子净化工程解决方案:

  4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点


  b、室内空气参数要求 :

  (1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。

  (2)新风量大。由于这类车间内,无尘室,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;---室内每人每小时的新鲜

空气量***40m3/h。

  (3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是***25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是***15次/h)。



  净化工程乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,无尘室设计,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,无尘室设备,可并用无尘工作台,简易无尘室,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。



净化技术的设备发展

  对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种---已成为衡量一个和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。




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