百级无尘室-无尘室-昆山清阳净化系统工程

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    2023-8-16

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光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案

  光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于---设计之密闭空间。

  光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,万级无尘室,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如---型积体电路之研究制造,已成为在科技发展上---重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先---。


  洁净室中的温湿度控制

  洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,无尘室,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,无尘室厂家,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,百级无尘室,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。



  空气净化在人类生活中重要作用

  人们每天平均有70%以上的时间在室内渡过。随着人们生产和生活方式的改变,更多的工作和体育---活动都可在室内进行,购物也不必每天上街,合适的室内气候使人们不必经常到户外去调节热效应,这样,人们的室内活动时间就会更多,甚至---90%以上。而老、幼、病、残等弱势群体、机体抵抗力较低、户外活动机会更少,因此,室内空气的好坏与人们的关系尤为重要。


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