在洁净室内静电导致的事故有以下几方面：
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有选些都可能产生静电，在一般情况下，越是电导率小的非导体(绝缘体)，由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中------，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，车间净化厂商，尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率，都极易产生静电和集聚静电，车间净化供应，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。
净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(clean
tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
a.弹性扩充容易;
b.维修设备时可在维修区轻易执行。
光学微电子行业净化工程设计方案分析：对于常规电子厂房洁净室空调的设计，车间净化，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+ffu。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。
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