净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(clean
tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
a.弹性扩充容易;
b.维修设备时可在维修区轻易执行。
在洁净室内静电导致的事故有以下几方面:
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,万级洁净室厂商,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),万级洁净室怎么用,由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中------,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,万级洁净室,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,万级洁净室好不好,这些材料料是被广泛采用的。
无尘室温湿度控制方法:
1、无尘室温湿度维护管理。
无尘室适当之正压保持(>;0.5mmaq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。
隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不---、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。
2、室内发尘不积留。
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
3、发生尘埃排除。
换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。
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