无尘车间净化工程技术发展历史:
70年代是洁净技术及洁净室、无尘车间应用的普及时期,各国相继制定了工业洁净室空气净化工程指标。
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无尘车间工程方案:
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无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,净化车间工程,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,净化室工程,目般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
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