无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须:
(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;
(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般超净间,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,无尘室,亦应列入考虑因素。
无尘车间(区)外窗设计应符合下列要求:
(1) 当无尘车间(区)和人员净化用室设置外窗时,应采用双层玻璃固定窗,无尘室设计,并应有---的气密性。
(2) 靠无尘车间室内一侧窗不宜设窗台。
6 无尘车间内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启,万级无尘室,并加设闭门器,无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。
7 无尘车间门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列要求:
(1) 无尘车间门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的构造和施工缝隙,均应采取---的密闭措施。
(2) 当采用轻质构造顶棚做技术夹层时,夹层内宜设检修通道。
(3) 无尘车间窗宜与内墙面齐平,不宜设窗台。
8 无尘车间室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数:顶棚和墙面宜为0.6~0.8,地面宜为0.15~0.35。
9 对8级以上的无尘车间,其墙板和顶棚宜采用轻质壁板构造。
10 设计选用的装修材料的燃烧性能必须符合现行<建筑内部装修设计防火规范>的规定。
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