无尘车间气流循环模式
无尘车间气流由风送入静压箱,通过高1效过滤器进入无尘车间,再从回风初效过滤器进入回风夹道,部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室,另一部分回风气流直接进入空调的进风口,空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。两部分流在风机室室混合后,通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱,再经高1效过滤器进入无尘车间构成气流循环系统。从气流的循环情况可知,实际上己形成了---的三级过滤状态。因此,无尘车间的空气得到了---的---。在此基础上调整高1效过滤器送风口的结构和布局,百级洁净室哪里好,配以相应的风量,就可确定无尘车间的洁净形式和洁净度,百级洁净室,以适应不同的需要。
无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,百级洁净室厂商,气流则较均一,目般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
随着无尘车间的广泛使用,对于无尘车间高1效过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多,而实际上根据<洁净室施工及验收规范>(jgj71-90)的条文,百级洁净室好不好,进行高1效过滤器的安装现场检漏,还有许多问题需要探讨。
1 目的和原理
高1效过滤器现场安装以后检漏是确认高1效过滤器及配套的安装静压箱,没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高1效过滤器装置经检漏是合格的,可以---洁净室的的运行,如此时室内洁净度仍未达标,应从洁净室的其它方面查找原因。
高1效过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试,而前者涉及高1效过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。
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