无尘车间等速采样
在有速度的气流中采样,采样速度应等于气流速度,否则采样浓度将大于或小于真实浓度,即气流速度大于采样速度,采样浓度将大于真实浓度,百级无尘室,反之,气流速度小于采样速度,采样浓度将小于真实浓度。
每个测点实际获得时间 ts=dp/sr=1 s
所以,采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、k 值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。---需要---的是,如采用 28.3 l/min 的粒子计数器和 2.83 l/min 的粒子计数器,他们的扫描速率可以相差十倍,也就是讲,每检测一个过滤器的时间也相差十倍。
洁净室无尘车间 规范要求扫描速率为 5 ~ 20mm/s ( 其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的,一般建议采用 28.3 l/min 的粒子计算器,扫描速率在 30 ~ 5mm/s 左右 )。
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无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,无尘室,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,无尘室工程改造,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
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