4.8<医1药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法>(gb/t16294-2010);
4.9<洁净室及相关受控环境>(iso14644.1~7);
4.10<建筑给水排水设计规范>(gb50015-2003);
4.11<建筑灭火器配制设计规范>(gb50140-2005);
4.12<建筑设计防火规范>(gb50016-2006);
4.13<建筑地面设计规范>(gb50037-2002);
4.14<砌体结构设计规范>(gb50003-2001);
4.15<医1药工业洁净厂房设计规范>(gb50457-2008);
4.16<洁净室施工及验收规范>(gb50591-2010)。
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
5.6
目前已推出的化学过滤器主要是:
a.活性炭过滤器,大多数是晶粒状的,洁净室净化工程,有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器,具有吸附速度快的特点,价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝,但主要是活性炭)以吸附amc物质。
至今,据---,φ300mm园片加工除二条试验生产线外,洁净室设备,已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转,洁净室,对amc的控制情况,当然不详,但洁净室环境为iso5~6级,对洁净室设计较简单些。可以看到,今后ic生产,其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
无尘室工程无尘室的构造主要有5个部分:
1、无尘室洁净度
无尘室的洁净度用洁净等级来表示,分别为10级、100级、1000级、10,000级、100,洁净室施工,000级。数值越小则净化度越高,例如:100级高于 1000级、1000级高于10000级等。在不同级的无尘室中,1立方英尺体积中所含的粉尘数不同(指粒度>; 0.3um的粉尘)。
以万级无尘室为例,其空气的洁净度比100级无尘室低100倍。洁净级别高的无尘室内空气压力也高。一旦打开不同级别间无尘室的门,空气会从洁净度高的室流向洁净度低的室,这样高洁净度的室不会被污染。尽管如此,还是应避免经常打开不同级别无尘室间的门。
2、无尘室的构造方式
气流方法
a)垂直气流型( class 1~100 )
b)水平气流型 ( class 100 )
c)乱流型 ( class 1,000~100,000 )
d)混流型( class 1,000~100,000 )
4、风机过滤器系统
ffu为低噪音、高1效率的除尘系统,能够方便的为无尘室提供高的过滤空气。
风机过滤单元系统
安装在无尘室---龙骨架上的直流ffu系统
5、无尘室的---性
为了避免生产过程中出现污染和腐蚀,空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到低,于是,无尘室技术现在成为了许多工业的基本要求。
无尘室设备用于微电子工业、半导体、精密机械、制药业、塑料制品和食品加工业等各个领域。
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