千级无尘室-无尘室-昆山清阳净化系统工程

无尘室温湿度控制方法：

1、无尘室温湿度维护管理。

无尘室适当之正压保持（>;0.5mmaq），做好施工工程之不漏气，无尘室厂家，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不---、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

光学微电子净化工程解决方案:

　　4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

　　b、室内空气参数要求 ：

　　(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，无尘室，相对湿度为55+5%。

　　(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，无尘室工程改造，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;---室内每人每小时的新鲜

空气量***40m3/h。

　　(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，千级无尘室，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是***25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是***15次/h)。