清阳净化系统工程公司-实验室净化工程-嘉善县净化

为切实执行<---

---

检查评定标准>

，使空调净化系统的检查验收得

以系统化、具体化，并具备可操作性，制订本指南。

1.2

本指南适用于---

---

关于空调净化系统的检查评定和企业日常自检评

定，洁净室净化工程，不涉及工艺要求、平面布局、围护结构等方面。

1.3

空调净化系统的正确做法与功能除应符合本指南外，还应参照相关标准、专

业理论和技术以及现场实际情况作出判断。

1.4

本指南带

*

号的条目如不达标，为---缺陷，其他为一般缺陷。有

1

项---

缺陷，或有＞

20

％的一般缺陷，则不予通过验收验证

无尘车间净化技术的设备发展

　　美国asyst公司、德国mw公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和---性的影响作用。