为切实执行<---
验收得以系统化、具体化,并具备可操作性,制订本指南。
1.2
本指南适用于---
检评定,不涉及工艺要求、平面布局、围护结构等方面。
1.3
洁净室工程的空调净化系统的正确做法与功能除应符合本指南外,还应参照相关标
准、理论和技术以及现场实际情况作出判断。
1.4
本指南带
1
2
2.1
粒径
义。
如用显微镜法确定的粒径,
如沉降法、
参考 洁净室工程空气洁净技术
而得出的综合效果,
由于产品生产对洁净室的环境温度和相对湿度没有特殊的要求,
1.1.3.12
无尘车间设有压缩空气系统用于---生产和启动气动阀门开关等,
1.1.3.13
净化车间人群流动、
?检查方法检查检漏报告和日常维护记录。
?结果处理当无特殊要求时,未作现场扫描检漏的应补做,如无特殊要求,宜采用将纳入<洁净室施工及验收规范>的粒子计数器---尘检漏法。 ?参考 ---尘检漏法可用2.83l/min粒子计数器,对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器,需要高1效过滤器上游浓度***5000粒/l,采样口宜为15mm×20mm,20mm为平行于扫描方向的长边,采样口离检漏表面25mm,扫描速度≤2cm/s。
?参考 扫描过程中当出现***1粒计数时,即出现漏泄特征,应在该处停留1min,若再出现***3粒的计数,即判断为漏,否则为不漏。
?参考 iso14644---粒子计数器法比dop光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的dop的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染;长时间测试会造成过滤器污染堵塞;对人也有危害。
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