无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多，如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，无尘室设计，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少至低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
乱流无尘车间洁净室
乱流洁净室的主要特点是---流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的，无尘车间截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。
高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行，无尘室，新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。
<洁净室施工及验收规范>（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，再安装高1效过滤器，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。
检漏时，从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高1效过滤器的过滤介质，无尘室设备，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
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