千级无尘室-无尘室- 清阳净化系统工程

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    2023-9-21

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  净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

  洁净隧道(clean

tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点:

  a.弹性扩充容易;

  b.维修设备时可在维修区轻易执行。


  净化工程噪声控制有---的要求。这里有---先说明一下无窗洁净室的照明方式:

  (1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要,为照亮整个被照面积而设置的照明。

  (2)局部照明这是指为增加某一指1定地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。

  (3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按<洁净厂房设计规范>应占总照度的10%—15%,无尘室厂家,但不低干150lx。单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(lx)。国外洁净室的强度要求---,百级无尘室,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.人工光300lx有较好的效果,千级无尘室,当工件精细程度更高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,无尘室,这也是为了节能而出现的一种动向。



  净化工程解决方案:各种不同的加湿器的应用范围不同:如:淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器,其特点是加湿量大、投资费用低,而相对湿度控制精度较差,因此多用于相对湿度要求不严格(>;±10%),加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调系统加湿。而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。



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