*6.5所有洁净室室内排风风口均应有过滤器,其类别应符合设计要求。洁净室排风对环境将造成有毒有害影响时,排风口的洁净室室内侧必须安有高1效过滤器,然后是粗效过滤器、排风机、逆止阀,排风机应紧靠出口,保持排风管道为负压管道。仅含有大量粉尘的排风,排风管上应有除尘设备,---排风浓度达标。
?检查方法外观检查,洁净室,查看过滤器铭牌。
?结果处理不符合要求的为---缺陷,必须更换、改装,然后方可运行。
*6.6排除可能含有ⅲ类生物危险度的生物气溶胶的管道必须是不锈钢焊接成型的负压管道。洁净室排风口上的过滤装置必须是零泄漏,过滤器为b类或更高的高1效过滤器。高1效过滤器应有过滤器安全拆卸的措施。
?检查方法外观检查,查看过滤器铭牌。
?结果处理不符合要求的为---缺陷,必须改装,重新改装的洁净室系统合格后,方可使用。
2.3悬浮微粒(airborne particles)
空气介质中的微粒,粒径小于10μm的固体或液体粒子,亦称总悬浮颗粒物。洁净室工程就是要净化掉这些杂质,万级洁净室,应用于对净化有要求的一些精密仪器或产品生产的洁净空间。
?参考 微粒对人体健康的影响与其性质、吸入量及其粒径大小有关。空气动力学粒径大于10μm的粒子基本上被阻于人的鼻腔;大于2μm、小于10μm的粒子约有90%可进入并沉积在呼吸道的各个部位,10%可以达到肺的深部,
并沉积于肺中;小于2μm的粒子100%可以吸入肺部,其中0.3~2μm的粒子几乎全沉积于肺部而不能呼出。
?参考 气溶胶(aerosol)是指含有分散相悬浮微粒的空气介质,洁净室工程,是一种分散体系。从气溶胶力学角度考察,其大小可为10-7~10-1cm;但通常是指10-7~10-2cm。
?参考 生物气溶胶(bioaerosol)是指空气环境中弥散的生物介质(活粒子、---素、毒1素或微生物)
?参考 iso定义:气溶胶是指沉降速度可以忽略的固体粒子、液体粒子或固体与液体粒子在气体介质中的悬浮体。
*9.2单向流洁净室0.8m工作面高度截面平均风速日常不小于0.25m/s,综合性能评定检验时不小于0.27m/s。 ?检查方法查阅报告或记录。
?结果处理风速略小可加围帘,或进行调整,应重测。达不到要求为不合格。 9.3非单向流洁净室换气次数为:
7级
?检查方法查阅报告。
?结果处理略小者调整后能否提高可重测。超过上限1.2倍者宜下调。为达到风量稳定和节能,宜使用变频风机。
9.4当工艺无特殊要求时,不同洁净度级别的相通相邻的一般洁净室之间的静压差应大于5pa,洁净室(区)与室外的静压差应大于10pa。负压应满足工艺要求。 ?检查方法查看报告或实测。 如有排风,应是排风全开的结果。
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